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j9游會真人游戲第一品牌:半導體芯片制造FAB廠實現(xiàn)全自動化必須經(jīng)歷的階段有哪些?

作者:j9九游會發(fā)布時間:2025-03-10

  Hello,大家好,今天我們聊下Fab廠的自動化模式--Auto Mode.

  12寸Fab廠的目標是--"關燈工廠",工廠里不需要人為參與,自動化派貨。

  那么Fab的自動化模式分為哪幾個階段呢?

  ▌1.Manual--人工操作階段

  場景:機臺沒有實現(xiàn)自動化,需要操作員先將所需物料搬送到機臺上,然后在機臺旁通過機臺的操作按鈕進行控制生產(chǎn)。如果有多批次物料的話得根據(jù)經(jīng)驗參考規(guī)則進行派貨的選擇和判定。

  人機比:這種階段一般一個人管2~3個機臺。

  必備的系統(tǒng):MES。

  ▌2.Auto 1--機臺自動化階段九游會j9網(wǎng)站首頁

  場景:機臺可以通過EAP程序遠程的發(fā)送操作指令,并通過EAP程序?qū)崟r獲取機臺的狀態(tài)等信息數(shù)據(jù),操作員可以在FAB的交接區(qū)的電腦上通過UI程序控制多個機臺。

  人機比:這種階段一般一個人管4~8個機臺。

  必備的系統(tǒng):MES,EAP。

  ▌3.Auto 2--運輸自動化階段

  場景:FOUP和Reticle等物料可以通過天車等進行傳輸,無需人為進行搬運。

  人機比:這種階段一般一個人管10~20個機臺。

  必備的系統(tǒng):MES,EAP,AMHS。

  ▌4.Auto 3--派工自動化階段

  場景:無需人員通過UI給EAP或者AMHS發(fā)送指令,系統(tǒng)先自動判定先跑哪個批次,再跑哪個批次,然后再自定發(fā)送操作指令給EAP或者AMHS進行操作。

  人機比:這種階段一般一個人管30~60+個機臺。

  必備的系統(tǒng):MES,EAP,AMHS,RTD,F(xiàn)ull Auto,APC......等等九游會j9網(wǎng)站首頁。

  有些早期的Fab廠沒有AMHS,只需要人為參與搬運,但是不需要人為操作機臺和派活的判定,有時又稱之為Auto 1.5,也就是MES+EAP+RTD等。

  ▌自動化的過程需要循序漸進

  FAB達到Auto3(全自動化)是一個循序漸進的過程,逐個階段,逐個區(qū)域,逐個類型的機臺而進行的,特殊情況下,還需要人為干預自動派貨,對于廠內(nèi)也有如下指標判定自動化率。

半導體芯片制造FAB廠實現(xiàn)全自動化必須經(jīng)歷的階段有哪些?

  自動化率=自動派貨的操作數(shù)/總的派貨操作數(shù)。

  所以說,自動化的程度越高,每個人可以管控的機臺數(shù)就越多,F(xiàn)AB內(nèi)就不需要工程師進行操作。

  這時,大家的工作重點從操作機臺變?yōu)榕韶浄治?,從體力勞動變?yōu)槟X力勞動,大伙只需通過Report平臺,分析和優(yōu)化派貨的業(yè)務算法即可。

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